光學(xué)鍍膜機主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。

        光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。

        光學(xué)鍍膜機維護與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。

一、電子槍安裝與維護

        電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動電源、蒸發(fā)源等組成一個電子槍控制電柜。

        電子槍控制電柜內(nèi)含有高壓，在工作前必須保證柜門各個聯(lián)鎖裝置正常工作，非專業(yè)人員不得打開電柜門，電子槍在工作時不得打開電柜門，整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。

        電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來固定，周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體，否則會影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發(fā)射為好。

        電子槍蒸發(fā)源是一個精密機械加工體，在工作時必須保證有良好的冷卻水，如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

（一）電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行，其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。
電子槍槍頭有使用一段時間后，會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。

（二）坩堝的維護
        拆坩堝之前，請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

蒸發(fā)源裝卸順序：
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運到一個穩(wěn)定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過來倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動四個螺絲10.抬起蒸發(fā)源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動機構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動軸，檢查轉(zhuǎn)動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。

（三）導(dǎo)磁板及掃描圈的維護
       導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護，如需拆卸，請注意永磁鐵的極向，及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實，請不要使用硬尖的東西撬動，否則有可能會造成損壞。

二、光路的檢修與維護

       光路調(diào)整的先決條件是：確保直流穩(wěn)定電源、調(diào)制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚測量儀的接地點，必須單獨歸至主機接點牢固接地。

三、光學(xué)鍍膜機的清洗

       設(shè)備使用一個星期后（三班），因鍍料除鍍在工件表面 外，亦因無定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料，并越鍍越厚，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時，應(yīng)對工作室及襯板進行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里，氫氟酸和水的比例看需要浸泡時間長短以及不傷襯板為原則。

注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

        因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。

四、光學(xué)鍍膜機的保養(yǎng)

（一）定期更換擴散泵油
       擴散泵油使用一段時間，約二個月（兩班），因在長期高溫環(huán)境，雖然較高真空時才啟動擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應(yīng)，擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長抽氣時間。在我們認(rèn)為時間延長得太多時，應(yīng)予更換。

（二）真空泵
       機械泵油、維持泵油在使用二個月，油質(zhì)會發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設(shè)備，在使用頭半個月即應(yīng)更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會加劇磨損。

（三）清潔衛(wèi)生
       定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好，常保持設(shè)備內(nèi)外清潔，將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條，有一個好的工作環(huán)境，以保安全。